天瑞熒光光譜儀原理，當能量于原子內層電子結合能的能X射線與原子發生碰撞時,驅逐個內層電子而出現個空穴,使整個原子體系處于不穩定的激發態,激發態原子壽命約為 (10)-12-(10)-14s,然后自發地由能量的狀態躍遷到能量低的狀態.這個過程稱為馳過程.馳豫過程既可以是非輻射躍遷,也可以是輻射躍遷.當較外層的電子躍遷到空穴時,所釋放的能量隨即在原子內被吸收而逐出較外層的另個次光電子,此稱為俄歇效應,亦稱次光電效應或無輻射效應,所逐出的次光電子稱為俄歇電子.