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INFICON XTC/3系列 膜厚控制儀

會(huì)員指數(shù): 企業(yè)認(rèn)證:

價(jià)格:電議

所在地:全國(guó)

型號(hào):

更新時(shí)間:2011-12-27

瀏覽次數(shù):1573

公司地址:

(女士)  

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1,提供可靠的模式跳躍防止功能,可達(dá)到始終如一的鍍膜質(zhì)量。

公司簡(jiǎn)介

展開

產(chǎn)品說明

用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1,提供可靠的模式跳躍防止功能,可達(dá)到始終如一的鍍膜質(zhì)量。使用XTC/3 薄膜鍍層控制儀,可高度精確地控制鍍膜速率與膜層厚度,具有能控制幾乎任何膜層數(shù)量的能力。容易安裝和極高的可靠性,可確保高的生產(chǎn)率。

 

特 點(diǎn)

■有單膜層和多膜層型號(hào)

■ModelLock防止由于模式跳躍導(dǎo)致的膜厚誤差

■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix?和雙探頭自動(dòng)晶體切換,用于zui高生產(chǎn)率

■XTC/3M多膜層型號(hào)支持多至99個(gè)工藝過程,999個(gè)膜層,32個(gè)鍍層,2個(gè)

傳感器和兩個(gè)源

■XTC/3S單膜層型號(hào)支持多至9個(gè)鍍層,2個(gè)傳感器和兩個(gè)源

■易閱讀的TFT LCD圖形顯示器

■為便于檢索,可獨(dú)特的和描述性的薄膜與過程名稱

■有以太網(wǎng)連接軟件

■單獨(dú)運(yùn)行(無需計(jì)算機(jī))或用PC運(yùn)行的Windows?軟件選件

■INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換見(限于XTC/2功能和指令組)

 

技術(shù)規(guī)范

功能,參數(shù),或技術(shù)規(guī)范

XTC/3S單層膜

XTC/3M多層膜

測(cè)量分辨的頻率變化

+0.05Hz

+0.05Hz

測(cè)量區(qū)間

0.25秒

0.25秒

厚度和速率分辨/測(cè)量

0.06A,在工具/密度=100

0.06A,在工具/密度=100

基頻=6M Hz

基頻=6M Hz

支持XTAL2轉(zhuǎn)換

計(jì)算機(jī)通訊

RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件

RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件

zui大RS232波特率

115.2千波特

115.2千波特

繼電器數(shù)

12標(biāo)準(zhǔn), 無事例可

12標(biāo)準(zhǔn), 事例可

可編程繼電器功能數(shù)

1

1

每個(gè)繼電器功能

1

1

繼電器電壓額定值

30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流

30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流

42V峰,在2.5安

42V峰,在2.5安

輸入數(shù)

8TTL, 24伏直流zui大

8TTL, 24伏直流zui大

可編程輸入功能數(shù)

1, 無事例可

1, 事例

記入儀輸入數(shù)

1

1

手動(dòng)電源/手持控制器

排風(fēng)扇

測(cè)試模式

擋光器延遲

次級(jí)工具

zui大允許相移頻率

1.0 M Hz

1.0 M Hz

機(jī)箱尺寸

1/2機(jī)架,2U高度

1/2機(jī)架,2U高度

速率和膜厚顯示分辨

0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從

100至999A/秒

0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從

100至999A/秒

顯示膜厚分辨=1A

顯示膜厚分辨=1A

通過輸入選擇鍍層

用戶指導(dǎo)語(yǔ)言

英文,中文

英文,中文

控制環(huán)

       PID

PID

數(shù)據(jù)登錄

質(zhì)量和穩(wěn)定性功能

樣品和保持

坩堝選擇

坩堝反饋輸入

選擇控制電壓極性

是,+/-2.5,5,10伏

是,+/-2.5,5,10伏

15-位分辨率

15-位分辨率

程序鎖定碼

        是

        是

用戶標(biāo)簽過程/鍍層

        否

        是

XTC/2 RS232通訊兼容性

是(有限的)

是(有限的)


本頁(yè)產(chǎn)品地址:http://www.vn-obr.cn/sell/show-275261.html
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